osakavacuum大阪真空 抗磁场涡轮分子泵
■强旋转轴
　→可实现低真空启动和连续低真空运行
■您可以选择与负载条件相匹配的电机
　→ 降低设备成本和提高运营效率可节省成本
■多种泵速可供​​选择
　→ 90 至 12,000立方米/小时
■与辅助泵的各种组合
　→罗茨式+油旋转/液封型

 osakavacuum大阪真空   抗磁场涡轮分子泵

 osakavacuum大阪真空   抗磁场涡轮分子泵

■强旋转轴

　→可实现低真空启动和连续低真空运行

■您可以选择与负载条件相匹配的电机

　→ 降低设备成本和提高运营效率可节省成本

■多种泵速可供选择

　→ 90 至 12,000立方米/小时

■与辅助泵的各种组合

　→罗茨式+油旋转/液封型

目的

・半导体、FPD

・薄膜涂层

・金属、钢铁、工业设备

・医疗、化工、制药、食品

・研发

规格

外部尺寸

进气法兰80A JIS B2290VF

额定排气速度*1  （立方米/小时）50赫兹 250

60赫兹 300

允许压差（kPa）

[使用标准电机时]50赫兹 9.3

60赫兹 8

测试压力（Pa）单级RP型后备泵7× 10

辅助泵 2 级 RP1.3× 10-2

备用泵标准抽水速度（立方米/小时）

36至100

转速（转/分钟）50赫兹3000

60赫兹3600

标准电机输出功率（kW）1.5

油量（升）0.9

冷却方法空冷式

质量（千克）全封闭风冷式室内电机110

无电机80

*1：有效泵速取决于辅助泵。我们的销售代表。

*2：冷却水温度为30℃。

运行环境温度：+10℃至+40℃；储存环境温度：-5℃至+60℃。

为防止结冰，储存前请排空冷却水。