OHKURA大仓 RD2210A4 金属膜片微型阀
EC1107A机床控制器是一款集回路控制和顺序控制于一体的控制器。

OHKURA大仓 RD2210A4 金属膜片微型阀

OHKURA大仓 RD2210A4 金属膜片微型阀‍

 金属膜片减压阀/

RD2210A

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规格表（第 6 版）

该金属膜片减压阀可用于掺杂、外延等半导体工业用途、各种化学分析、特殊气体、高纯气体、腐蚀性气体等。

特征

■洁净材料

隔膜通过金属接头密封在阀体上，所有产品都经过氦气泄漏检查，无油、无水且经过清洁。

■高通用性

有八种类型可用于高压和低压，并且可进行面板安装和底部安装。

规格

物品

高压

RD210A1□1□

低压

RD210A4□2□

耐压性

最大24.5MPa

最大2.94MPa

使用的主要压力

最大14.7MPa

最大2MPa

设定压力范围

171.6kPa

343kPa

686kPa

1372kPa

2059kPa

171.6千帕

343千帕

686千帕

有效孔口

φ0.7

φ2

CV值

0.015

0.1

一次压力特性*1

0.5%

*1 一次压力特性 (设定压力变动范围/一次压力变动范围)×100(10l/min时)

1.3%

*1 一次压力特性（设定压力变动幅度/一次压力变动幅度）×100（10 l/min时）

可重复性

±0.98千帕

滞后

±3.92千帕

外部泄漏

1.013×10-10Pa･m3/s（氦）以下

内部泄漏

1.013×10-8Pa･m3/s（氦气）以下

与流体接触部件的材料

SUS316、SUS316L、聚三氟氯乙烯

工作温度范围

-10 至 80°C

港口

60° 进×2 出×2

90° 进×1 出×2

连接端口

（连接VCR）

1/4NPT

Rc1/4

VCR1/4GR *2

*2 VCR是Swagelok公司的注册商标。

大量的

920克

面板切割

φ33

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽  watson沃森

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、TAKASAGO高砂、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏河 、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川 TOKYOKEISO东京计装

Düsen-德国  Schlick AMETEK-LAND兰德 Advantec 东洋 Eppendorf艾本德   ‌Bettersizer丹东百特  Teledyne FLIR YOKOGAWA横河    shimadzu島津  SIBATA柴田科学  NICHIRYO立洋 东丽TORAY  BANNER邦纳 Mitutoyo三丰 Sanyo Trading三洋 NITTA 霓达  牧田makita METTLERTOLEDO梅特勒 本特利Bently AIDA 会田 KYOWA共和  FUJIKIN  富士金 富士电机Fuji 德国DIAS HIOKI日置 美国checkline 美国Sutter VACUUBRAND德国 INFICON英富康 东方马达ORIENTAL MOTOR NIDEC尼得科 美国advancedenergy SATOVAC佐藤 SICK 西克

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